真空等离子清洗处理工艺，表面活化改性，提升 - 中国表面工程杂志社投稿

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真空等离子清洗处理工艺，表面活化改性，提升

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真空等离子处理是已经被充分证实和广泛用于电子工业刻蚀和表面改性的技术。它正在越来越多地被航空航关、汽车、医疗、军事和包装等工业，用于塑料，橡胶和天然纤维的清理和表面工程，以及用来取代金属零件清洗用的化学溶剂。

应用范围从清理圆珠笔类之类的小零件、织物和薄膜材料卷材的整个整个表面工程，到整个汽车塑料车体的粘接的改善。

真正的限制只有两个：产品能否装入真空室内和真空室是否适合？如果产品过大或者产品在真空下不断发生水分和气体，那么就不适合于处理。

真空等离子处理机可以用来清理表面和除去有机残留物，或者在涂漆、喷漆、印刷、电镀或粘接前促进粘附，材料可以改性和进行表面工程处理以改变表面性能而又不影响原材料。表面工程可以改进摩擦特性、润滑性能、耐热性、薄膜的粘结强度。表面导电性或者介电常数之类的性能，或者能使材料亲水或疏水。

为了良好的粘附，整个表面和相容表面清理是很重要的，但是往往难以达到。在机械清理或者表面制备后往往在表面上留下粘跗松弛的颗粒，含水清洗会导致不溶解的局部块状残留物，而且以后在蒸发时再使它们以薄膜形式再沉积在整个表面上。

这层薄膜除用等离子或其它放射性处理外是很难除去的。真空等离子清理可以除去所有的残留物，并可使表面“自动清理”。利用反应性气体可以增强粘附力。

这些气体产生的化学物质和游离基，它们与表面起反应或者沉积在表面上，通过形成化学粘接或电气连接来改善对粘附表面的亲和力。离子体带有重离子，会对表面产生形貌变化，并因而改善机械结合。

真空等离子处理方法可以避免对材料的损伤，因为这一方法是可控的低能密度的低温过程。等离子能量是高效率的，因为真空压力可减少再复合以及增加颗粒的自由行程长度，从而产生较高的离子动能.在可控的真空等离子环境中。通过仔细选择等离子气体和过程参数可以获得精密的表面工程效果。可以依次使不同的气体来获取不同的效果。

等离子技术有许多优点，可以在低温下获得在热动力学方面的可逆反应，表面可以清理得不留残物；不用涂料和预处理就可以增强粘附。材料的机械性能、电气性能和化学性能可改变，在处理过程中所有变量的计算机控制可保证质量和再现性。

文章来源：《中国表面工程》网址: http://www.zgbmgc.cn/zonghexinwen/2021/0210/426.html